国家/地区 中国(17)
IPC部 C(18)
IPC大类 C23(18)
IPC小类 C23C(18) H01L(5) C01B(2)
C09D(2) G01B(2)
IPC C23C014/58(18)
发明人 LI C(3) DENG L(2) LIU J(2)
LUO G(2) WANG X(2) YANG Z(2)
ZHENG Y(2)
公开年 2022(18)
申请年 2021(10)  2022(8) 
专利权人 NINGBO INST .(2)