国家/地区 美国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13) C01B(9) H01L(6)
B82Y(4) G01N(3) C01G(2)
C30B(2)
IPC C23C016/02(13)
发明人
公开年 2021(6) 2022(6)
申请年 2021(13)
专利权人 UNIV CALIFOR.(2)