国家/地区 日本(17)
IPC部 B(17)
IPC大类 B01(17)
IPC小类 B01J(17)
IPC C23C016/26(17)
发明人 MATSUMOTO T(3) BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2)
IFUKU R(2) SINTON S W(2) SWETT J L(2)
ZHANG X(2)
公开年 2016(4) 2011(2) 2013(2) 2014(2) 2017(2) 2018(2)
申请年 2010(3)  2014(3)  2016(3)  2012(2)  2015(2) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(3) LOCKHEED MAR.(2) SAMSUNG ELEC.(2)