国家/地区 中国(11) 韩国(9) 美国(9) 世界知识产权组织(5)
IPC部 C(18) H(10) B(5)
IPC大类 C23(18)
IPC小类 C23C(18) C01B(9) H01L(8)
B82Y(3) H01B(3) B01J(2)
IPC C23C016/44(18)
发明人 LEE Y(2) PARK S(2)
公开年 2014(18)
申请年 2013(10)  2014(6)  2012(2) 
专利权人 KOREA ADVANC.(2)