| 国家/地区 | 中国(11) 韩国(9) 美国(9) 世界知识产权组织(5) |
| IPC部 |
C(18)
H(10)
B(5)
|
| IPC大类 |
C23(18)
|
| IPC小类 |
C23C(18)
C01B(9)
H01L(8)
B82Y(3) H01B(3) B01J(2) |
| IPC |
C23C016/44(18)
|
| 发明人 | LEE Y(2) PARK S(2) |
| 公开年 |
2014(18)
|
| 申请年 | 2013(10) 2014(6) 2012(2) |
| 专利权人 | KOREA ADVANC.(2) |
PARK H B, KIM H, YOON H W, PARK S M, LEE M Y, HO B P, HEE W Y, SUN M P, YONG L M, LEE M, PARK H, PARK S, YOON H
CHEN Y, LI J, LI Y, ZHANG X, LEE Y
AHN C W, KANG I S, SHIN Y H, YOO K
JIN H, LIU Z, PENG P, YANG H, ZHANG Z, ZHOU Z
SHI H, JIANG H, YANG J, ZHANG Y, WEI D, DU C, LI Z, ZHU P, HUANG D, YU C
