国家/地区 中国(9) 美国(3) 韩国(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C23C(11) B82Y(4) H01L(4)
C01B(2) H01J(2)
IPC C23C016/30(11)
发明人 CHEN Z(2) LI K(2) LI Z(2)
SONG G(2) ZHANG Y(2)
公开年 2017(6) 2016(5)
申请年 2016(11)
专利权人 UNIV QINGDAO.(2)