国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10)
IPC小类 C23C(10)
IPC C23C016/26(4) C30B029/02(4) H01L021/02(4)
C23C016/44(3) C30B029/40(3) B32B009/00(2)
B32B009/04(2) C23C016/02(2) C23C016/34(2)
C23C016/50(2) C23C016/56(2) C30B015/00(2)
C30B025/08(2) C30B025/10(2) C30B025/18(2)
发明人
公开年 2021(10)
申请年 2021(6)  2020(4) 
专利权人