国家/地区 韩国(11) 美国(10) 日本(7) 欧洲专利局(EPO)(5) 世界知识产权组织(5) 中国(4) 加拿大(2) 法国(2) 新加坡(2) 台湾(2)
IPC部 B(15)
IPC大类 B01(15)
IPC小类 B01J(15)
IPC C23C016/56(15)
发明人 BEDWORTH P V(2) CHOI J(2) CHOI J Y(2)
HEISE S E(2) IFUKU R(2) MATSUMOTO T(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2021(4) 2016(2) 2017(2)
申请年 2020(3)  2010(2)  2015(2)  2016(2)  2022(2) 
专利权人 LOCKHEED MAR.(2) SAMSUNG ELEC.(2) TOKYO ELECTR.(2) UNIV SUNGKYU.(2)