国家/地区 美国(18) 世界知识产权组织(15) 韩国(14) 中国(11) 日本(9) 台湾(9) 欧洲专利局(EPO)(4) 德国(3) 法国(2) 英国(2)
IPC部 C(39)
IPC大类 C01(39)
IPC小类 C01B(39)
IPC C23C016/26(24) C01B032/186(16) H01L021/02(10)
B82Y040/00(8) C23C016/02(8) B82Y030/00(7)
C01B032/194(7) H01M004/38(7) H01M004/62(7)
C01B032/182(6) C23C016/44(6) H01L021/285(6)
H01L021/768(6) H01M004/587(6) C01B032/184(5)
发明人 LEE C(3) LEE E(3) MATSUMOTO T(3)
SHIN H(3) BYUN K(2) DIXON S(2)
GUINEY I(2) HEE L(2) HYUN L J(2)
IFUKU R(2) IMSUNGWOO(2) JEON Y M(2)
KIM C(2) KUBO T(2) LEE C S(2)
公开年 2021(16) 2022(16) 2023(7)
申请年 2021(39)
专利权人 TOKYO ELECTR.(4) APPLIED MATE.(3) SAMSUNG ELEC.(3) DAEJOO ELECT.(2)
PARAGRAF LTD(2) UNIV SINGAPO.(2) YAZAKI CORP(2)