国家/地区 日本(17)
IPC部 C(17)
IPC大类 C01(17)
IPC小类 C01B(17)
IPC C23C016/26(13) C01B032/182(9) C01B032/15(8)
C01B032/18(7) C01B032/186(6) C01B032/194(6)
C23C016/01(5) C30B029/02(5) C01B031/04(4)
B32B009/00(3) B82Y030/00(3) C23C016/02(3)
C23C016/56(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3)
发明人 AIDA H(5) AOTA N(5) BEDWORTH P V(2)
HEISE S E(2) LIU X(2) MATSUMOTO T(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2017(16)
申请年 2016(17)
专利权人 NAMIKI SEIMI.(5) LOCKHEED MAR.(2) TOKYO ELECTR.(2)