国家/地区 | 中国(6) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(11)![]() |
IPC大类 |
C23(11)![]() |
IPC小类 |
C23C(11)![]() |
IPC |
C30B025/18(6)
C23C016/02(4)
C23C016/26(4)
C30B029/02(3) H01L021/02(3) C01B032/186(2) C30B025/16(2) C30B028/14(2) C30B029/40(2) |
发明人 | FENG H(2) ZHANG J(2) |
公开年 |
2022(11)![]() |
申请年 |
2021(11)![]() |
专利权人 |
NARUTSUKA S, NAKAJIMA R
GRIFFIN R M, THOMAS S, GUINEY I, DIXON S
RAO R M S, JUVAID M M, SARKAR S, VENKATESAN T
NORIYUKI M, TAKUJI M, MITSURU M, TAKAYASU O
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
ZHANG J, LI C, WANG X, XU P, FENG H, CHEN Z, YANG Y, WU W, ZHOU C, LUO T
KIM B J, CHOI J, CHOI J Y, JUN K