国家/地区 中国(6) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C23C(11)
IPC C30B025/18(6) C23C016/02(4) C23C016/26(4)
C30B029/02(3) H01L021/02(3) C01B032/186(2)
C30B025/16(2) C30B028/14(2) C30B029/40(2)
发明人 FENG H(2) ZHANG J(2)
公开年 2022(11)
申请年 2021(11)
专利权人