国家/地区 中国(17)
IPC部 C(17)
IPC大类 C23(17)
IPC小类 C23C(17) C01B(3) B82Y(2)
G01N(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(17)
发明人 ZHANG H(4) CHEN Z(3) DENG R(3)
GE X(3) SUI Y(3) WANG Y(3)
YU G(3) ZHANG Y(3) LI H(2)
公开年 2017(17)
申请年 2017(8)  2016(7)  2015(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(3)