国家/地区 韩国(11)
IPC部 B(11)
IPC大类 B01(11)
IPC小类 B01J(11)
IPC C23C016/56(11)
发明人 BEDWORTH P V(2) CHOI J(2) CHOI J Y(2)
HEISE S E(2) IFUKU R(2) MATSUMOTO T(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2016(2) 2017(2) 2021(2)
申请年 2010(2)  2015(2)  2016(2)  2020(2) 
专利权人 LOCKHEED MAR.(2) SAMSUNG ELEC.(2) TOKYO ELECTR.(2) UNIV SUNGKYU.(2)