国家/地区 美国(8) 韩国(5) 世界知识产权组织(4) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 B(10)
IPC大类 B82(10)
IPC小类 B82B(10)
IPC B82B003/00(8) B82Y040/00(7) C23C016/26(7)
C01B031/02(6) B82B001/00(4) B82Y030/00(4)
C01B031/04(4) B32B009/00(3) B82Y010/00(3)
C01B032/186(3) H01L021/02(3) H01L029/06(3)
H01L029/16(3) B05D001/02(2) B32B038/10(2)
发明人 CHOI J(2)
公开年 2013(4) 2012(3) 2014(3)
申请年 2012(10)
专利权人