国家/地区 世界知识产权组织(15)
IPC部 C(15) H(10) B(4)
G(4)
IPC大类 C01(15)
IPC小类 C01B(15)
IPC C01B032/186(9) C23C016/26(9) C23C016/02(5)
B82Y040/00(4) C01B032/182(4) C01B032/184(4)
B82Y030/00(3) C23C014/06(3) C23C016/56(3)
H01L021/02(3) H01L021/205(3) C01B032/15(2)
C23C016/40(2) C23C016/455(2) C23C016/50(2)
发明人 IFUKU R(3) MATSUMOTO T(3) WADA M(3)
BADCOCK T J(2) DIXON S(2) GUINEY I(2)
KABUKI N(2) NAVEH D(2) NAVEH D Y(2)
YAMADA H(2)
公开年 2022(11) 2023(4)
申请年 2022(15)
专利权人 TOKYO ELECTR.(4) UNIV BARILAN(4) 2D GENERATIO.(2) PARAGRAF LTD(2)