国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10) H01(10) B01(4)
C23(4) B82(2) C30(2)
IPC小类 C01B(10)
IPC H01L021/02(10)
发明人
公开年 2017(7) 2016(3)
申请年 2016(10)
专利权人