国家/地区 美国(10) 世界知识产权组织(8) 中国(6) 欧洲专利局(EPO)(6) 日本(5) 韩国(5) 印度(3) 台湾(3)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10) H01(10) H05(3)
B32(2) C07(2) C08(2)
C23(2) G01(2)
IPC小类 C01B(10)
IPC H01L051/00(10)
发明人 KIM S H(2) LI H(2) MUELLEN K(2)
SCHWAB M G(2)
公开年 2015(10)
申请年 2014(5)  2015(4) 
专利权人 BASF SE(2) MAX PLANCK G.(2)