国家/地区 美国(7) 世界知识产权组织(5) 韩国(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C016/02(10)
发明人
公开年 2017(10)
申请年 2016(5)  2017(5) 
专利权人