国家/地区 中国(12)
IPC部 C(15)
IPC大类 C30(15) C01(3) H01(3)
C23(2) G01(2)
IPC小类 C30B(15)
IPC C30B029/02(7) C01B032/186(3) C30B025/00(3)
C30B025/02(3) C30B025/18(3) H01L021/02(3)
C30B007/14(2) C30B029/06(2) C30B033/10(2)
G01N027/26(2)
发明人 JU Q(2) LI X(2) MA Y(2)
WANG J(2) WANG W(2) ZHANG S(2)
公开年 2019(15)
申请年 2019(12)  2018(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(3)