国家/地区 中国(10) 美国(9) 世界知识产权组织(6) 日本(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 加拿大(2) 印度(2)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15)
IPC小类 C23C(15)
IPC C30B029/02(6) C23C016/26(5) H01L021/02(5)
C30B029/40(4) C01B032/186(3) C23C016/02(3)
C23C016/44(3) B32B009/00(2) B32B009/04(2)
B82Y030/00(2) C23C016/04(2) C23C016/34(2)
C23C016/40(2) C23C016/455(2) C23C016/50(2)
发明人
公开年 2021(15)
申请年 2020(7)  2021(7) 
专利权人