国家/地区 中国(4) 世界知识产权组织(3) 英国(2) 印度(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10)
IPC小类 C23C(10)
IPC H01L021/02(7) C23C016/02(4) C30B029/02(4)
C30B029/40(4) C01B032/186(3) C23C016/26(3)
C30B025/18(3) C23C016/455(2) C30B025/20(2)
C30B029/46(2) C30B029/64(2)
发明人 DIXON S(2) GUINEY I(2) THOMAS S(2)
公开年 2022(5) 2023(3) 2021(2)
申请年 2021(10)
专利权人 PARAGRAF LTD(2)