国家/地区 美国(9) 中国(7) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 日本(5) 韩国(3) 英国(2) 新加坡(2) 台湾(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12)
IPC C23C016/26(10) C01B031/02(6) C30B025/18(6)
C01B031/04(5) B82Y030/00(4) B82Y040/00(4)
C23C016/02(4) H01L021/205(4) C30B029/02(3)
H01L021/02(3) H01L029/16(3) B32B009/00(2)
B32B009/04(2) C01B032/186(2) C23C016/34(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(12)
申请年 2012(6)  2013(5) 
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)