国家/地区 欧洲专利局(EPO)(24)
IPC部 C(24)
IPC大类 C23(24)
IPC小类 C30B(24)
IPC C30B029/02(17) C23C016/26(16) C01B031/04(15)
B82Y040/00(12) B82Y030/00(11) C01B031/02(11)
C30B025/18(11) C01B032/186(10) C23C016/02(9)
C01B032/194(6) C23C016/56(5) C30B025/02(5)
H01L021/02(5) B82B003/00(4) C23C028/00(4)
发明人 VEERASAMY V(3) VEERASAMY V S(3) CASTRO A H(2)
CHIBA Y(2) CHIBA YOSHIHIRO(2) COJOCARU C(2)
KIM J(2)
公开年 2013(5) 2011(4) 2015(4) 2021(3) 2016(2)
申请年 2013(6)  2020(3)  2009(2)  2011(2)  2014(2)  2015(2)  2016(2) 
专利权人 GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3) CENT NAT REC.(2)
ECOLE POLYTE.(2) JX NIPPON MI.(2) NIPPON MININ.(2) UNIV SINGAPO.(2)