国家/地区 中国(27) 美国(2)
IPC部 C(28)
IPC大类 C30(28)
IPC小类 C30B(28)
IPC C30B029/02(17) C30B025/18(11) C23C016/26(10)
C30B025/02(9) C01B031/04(6) C01B031/02(4)
C23C016/02(3) H01L021/02(3) C23C016/52(2)
C23C016/54(2) C23C016/56(2) C30B029/04(2)
C30B029/20(2) C30B033/02(2) H01L029/16(2)
发明人 ZHANG Y(28)
公开年 2012(11) 2015(3) 2017(3) 2022(3) 2014(2)
申请年 2012(11)  2014(3)  2017(3)  2015(2)  2021(2)  2022(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(14) SHANGHAI INS.(5) CHONGQING GR.(2) ZHANG Y(2)