国家/地区 中国(21)
IPC部 C(21)
IPC大类 C30(21) C01(9) C23(7)
H01(6) B82(4)
IPC小类 C30B(21)
IPC C30B029/02(14) C30B025/18(7) C30B025/00(6)
C01B031/04(5) C23C016/26(5) C01B031/02(4)
H01L021/205(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C30B025/02(3) H01L021/02(3) H01L021/20(3)
H01L033/00(3) C23C016/02(2) C23C016/56(2)
发明人 CHAI Z(3) FAN S(3) HAN D(3)
HAO Y(3) NING J(3) WANG D(3)
WEI Y(3) YAN Y(3) ZHANG J(3)
FAN F Y(2) GI Y(2) LI X(2)
LIN S(2) WANG C(2) WANG L(2)
公开年 2013(21)
申请年 2013(10)  2012(9)  2011(2) 
专利权人 HON HAI PREC.(3) HONGFUJIN PR.(3) UNIV TSINGHU.(3) UNIV XIDIAN(3)
HANGZHOU GEL.(2) UNIV NANCHAN.(2)