国家/地区 美国(8) 世界知识产权组织(7) 日本(5) 韩国(5) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 印度(3) 英国(2)
IPC部 C(15)
IPC大类 G01(15)
IPC小类 G01J(15)
IPC C01B032/182(4) G01J001/02(4) B82Y020/00(3)
G01J005/20(3) H01L027/144(3) H01L029/786(3)
H01L031/028(3) H01L031/18(3) H01L051/00(3)
C01B031/02(2) C01B031/04(2) C01B032/186(2)
G01J001/42(2) G01J003/18(2) G01J005/02(2)
发明人
公开年 2021(5) 2015(3) 2022(3)
申请年 2020(4)  2021(4)  2013(2)  2014(2) 
专利权人