国家/地区 中国(17)
IPC部 H(11) B(6) C(4)
G(3)
IPC大类 H01(11) B82(4) C01(3)
B81(2) G01(2)
IPC小类 H01L(11) B82Y(4) C01B(3)
B81C(2) G01N(2)
IPC B82Y010/00(3) C01B031/04(3) H01L021/04(3)
H01L021/768(3) H01L029/78(3) B81C001/00(2)
H01L021/02(2) H01L029/49(2)
发明人 FU Y(10) HUANG R(10) WEI Z(10)
ZHANG X(10) ZHAO H(6) WEI Q(5)
YE T(4) YIN J(4) CAO Y(3)
CUI X(3) REN L(3) CHEN J(2)
FANG R(2) GUO X(2) JIN Y(2)
公开年 2012(17)
申请年 2012(13)  2011(4) 
专利权人 UNIV PEKING(17)