国家/地区 美国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B031/04(8) B82Y040/00(7) B82Y030/00(6)
C01B031/02(6) C23C016/26(6) C30B029/02(5)
H01L021/02(5) H01L029/16(4) C30B025/18(3)
C01B032/184(2) C23C016/02(2) C23C016/56(2)
C23C028/00(2) C30B023/06(2) C30B025/00(2)
发明人 BERRY V(2) KELBER J(2) SEACRIST M R(2)
公开年 2013(11)
申请年 2012(5)  2013(4)  2011(2) 
专利权人 CENT NAT REC.(2) CNRS CENT NA.(2) KELBER J(2) MEMC ELECTRO.(2)
SUNEDISON SE.(2) UNIV KANSAS .(2) UNIV NORTH T.(2)