国家/地区 中国(11)
IPC部 H(8) C(3)
IPC大类 H01(8) C23(2)
IPC小类 H01L(8) C23C(2)
IPC H01L021/336(5) C23C016/01(2) C23C016/26(2)
C23C016/56(2) H01L021/28(2) H01L029/78(2)
发明人 JIN Z(7) SHI J(7) WANG X(7)
ZHANG D(7) WANG S(5) MA P(4)
PENG S(3) ZHU H(2)
公开年 2015(11)
申请年 2014(8)  2015(2) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(11)