国家/地区 中国(16) 美国(12) 日本(9) 世界知识产权组织(9) 韩国(7) 欧洲专利局(EPO)(6) 加拿大(3) 台湾(3) 澳大利亚(2) 新加坡(2)
IPC部 B(24)
IPC大类 C23(24)
IPC小类 C23C(24) C01B(14) B82Y(10)
B32B(6) B01J(4) B22F(3)
H01L(3) B01D(2) C30B(2)
G01N(2) H01B(2)
IPC C23C016/26(24)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SHI H(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2) YANG X(2)
公开年 2017(24)
申请年 2016(15)  2017(8) 
专利权人 CHINESE ACAD.(2) LOCKHEED MAR.(2)