国家/地区 美国(10) 韩国(8) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC H01L029/16(12)
发明人
公开年 2017(12)
申请年 2016(9)  2015(2) 
专利权人