国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C30(10)
IPC小类 C30B(10)
IPC C30B025/18(6) C30B029/40(6) H01L021/02(4)
C30B023/02(3) C30B029/02(3) C30B025/16(2)
发明人
公开年 2023(10)
申请年 2022(6)  2023(3) 
专利权人