国家/地区 中国(188)
IPC部 C(107) H(62) G(43)
B(25) A(7)
IPC大类 C01(70) H01(62) G01(42)
C23(33) B82(19) C30(17)
C09(12) A61(6) B32(3)
C12(3) C22(3) B01(2)
B05(2) B81(2) C03(2)
IPC小类 C01B(70) H01L(55) G01N(34)
C23C(33) B82Y(19) C30B(17)
C09K(11) A61K(4) A61L(3)
B32B(3) G01D(3) G01R(3)
A61P(2) B05D(2) B81C(2)
IPC C01B031/04(39) C23C016/26(19) C01B032/186(16)
B82Y040/00(14) C01B032/194(12) C30B029/02(11)
H01L021/28(11) H01L021/336(11) B82Y030/00(10)
H01L021/02(10) C01B032/184(9) C09K011/65(8)
C23C016/02(8) C01B032/19(6) C30B025/18(6)
发明人 XIE X(62) DING G(46) DI Z(37)
ZHANG Y(36) ZHANG M(32) YU G(31)
CHEN Z(30) JIANG M(29) WANG H(29)
XUE Z(28) WU T(22) ZHANG H(22)
SUI Y(21) WANG G(18) XIE H(17)
公开年 2014(30) 2015(24) 2017(23) 2021(19) 2022(19) 2013(16) 2016(15) 2018(13) 2020(13) 2012(9) 2023(5)
申请年 2015(31)  2013(28)  2014(21)  2016(17)  2021(17)  2022(16)  2012(14)  2019(11)  2017(10)  2020(10)  2018(7)  2011(3)  2023(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(188)