国家/地区 中国(12)
IPC部 C(12) H(4)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12) C30B(3) C01B(2)
H01G(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(12)
发明人 HAO Y(12)
公开年 2013(3) 2016(3) 2020(2)
申请年 2012(3)  2015(3)  2020(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(6) GUANGZHOU MO.(2) GUANGZHOU MO.(2)