国家/地区 中国(12)
IPC部 C(12) H(12) B(8)
G(2)
IPC大类 C01(12) H01(12) B82(5)
H05(4) B05(3) B32(3)
C23(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC H01L021/28(12)
发明人
公开年 2012(3) 2013(2) 2015(2) 2017(2)
申请年 2012(3)  2011(2)  2015(2)  2017(2) 
专利权人 POSTECH ACAD.(2)