国家/地区 欧洲专利局(EPO)(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 H01(11) C23(7) C01(4)
B22(3) B82(3) C09(3)
B01(2) C25(2) C30(2)
G03(2)
IPC小类 H01L(11) C23C(7) C01B(4)
B22F(3) B82Y(3) H01M(3)
B01J(2) C01G(2) C09K(2)
C25D(2) C30B(2) G03F(2)
IPC H01L021/02(11)
发明人 FIMLAND B M(2) GABEN F(2) MUNSHI M(2)
WEMAN H(2)
公开年 2021(11)
申请年 2020(8)  2019(2) 
专利权人 CRAYONANO AS(2) SAMSUNG ELEC.(2)