国家/地区 日本(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) H01(6) B32(4)
C23(3) B82(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC C01B031/02(12)
发明人 SATO M(12)
公开年 2013(4) 2014(4) 2012(3)
申请年 2012(5)  2010(2)  2011(2)  2013(2) 
专利权人 FUJI ELECTRI.(8) DOKURITSU GY.(2) FUJITSU LTD(2) ULVAC INC(2)