国家/地区 |
日本(12)![]() |
IPC部 |
C(12)![]() |
IPC大类 |
C01(12)
H01(6)
B32(4)
C23(3) B82(2) |
IPC小类 |
C01B(12)![]() |
IPC |
C01B031/02(12)![]() |
发明人 |
SATO M(12)![]() |
公开年 | 2013(4) 2014(4) 2012(3) |
申请年 | 2012(5) 2010(2) 2011(2) 2013(2) |
专利权人 |
FUJI ELECTRI.(8)
DOKURITSU GY.(2)
FUJITSU LTD(2)
ULVAC INC(2)
|
FUJII TAKESHI, SATO MARIKO, FUJII T, SATO M
SATO S, KONDO D, SATO M, NIHEI M, KONDO T
TAKEI H, SAKIO S, SATO M, HIRAOKA K, IKEDA S, SAKAO Y, OTAKE F
TAKEI H, SAKIO S, SATO M, HIRAOKA K