国家/地区 世界知识产权组织(12)
IPC部 C(8) H(8) B(5)
IPC大类 H01(8) C01(7) B82(4)
C23(2)
IPC小类 C01B(7) H01L(7) B82B(3)
C23C(2)
IPC C01B031/02(4) H01L021/20(4) B82B003/00(3)
C01B031/04(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3)
H01L029/66(3) C23C016/26(2) H01L029/778(2)
发明人 DAVIS M A(12)
公开年 2014(11)
申请年 2014(10)  2013(2) 
专利权人 DAVIS M A(12)