| 国家/地区 |
世界知识产权组织(12)
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| IPC部 |
C(8)
H(8)
B(5)
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| IPC大类 |
H01(8)
C01(7)
B82(4)
C23(2) |
| IPC小类 |
C01B(7)
H01L(7)
B82B(3)
C23C(2) |
| IPC |
C01B031/02(4)
H01L021/20(4)
B82B003/00(3)
C01B031/04(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3) H01L029/66(3) C23C016/26(2) H01L029/778(2) |
| 发明人 | DAVIS M A(12) |
| 公开年 | 2014(11) |
| 申请年 | 2014(10) 2013(2) |
| 专利权人 |
DAVIS M A(12)
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