国家/地区 世界知识产权组织(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 C23(10) C01(8) B32(4)
H01(4) B01(3) B82(3)
C30(2)
IPC小类 C23C(10) C01B(8) B32B(4)
B82Y(3) B01J(2) C23F(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(10)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2)
公开年 2017(8)
申请年 2016(10)
专利权人 LOCKHEED MAR.(2)