国家/地区 世界知识产权组织(19)
IPC部 C(19)
IPC大类 C23(19) C01(13) H01(9)
B32(4) B01(3) B82(3)
C30(3) C03(2) G01(2)
IPC小类 C23C(19) C01B(13) H01L(5)
B32B(4) H01B(4) B82Y(3)
C30B(3) B01J(2) C03C(2)
C23F(2) G01N(2)
IPC C23C016/26(19)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) LIU X(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2017(14) 2018(3) 2016(2)
申请年 2016(19)
专利权人 CORNING INC(2) LOCKHEED MAR.(2)