国家/地区 世界知识产权组织(26)
IPC部 B(26)
IPC大类 C04(26) C01(12) B01(8)
H01(8) C09(7) B22(6)
C08(5) B05(4) B29(4)
B32(4) B33(4) B82(4)
B23(3) B28(2) C23(2)
IPC小类 C04B(26)
IPC B33Y010/00(4) C01B032/182(4) C01B032/194(4)
C04B037/02(4) C04B041/48(4) B01J020/20(3)
B82Y030/00(3) C01B032/21(3) C04B035/64(3)
C04B041/45(3) H01L023/36(3) H01L023/373(3)
B01J020/28(2) B01J020/30(2) B22F001/00(2)
发明人 LI X(2) MA Y(2) NOBUYUKI T(2)
TERASAKI N(2)
公开年 2021(26)
申请年 2020(17)  2021(7)  2019(2) 
专利权人 MITSUBISHI M.(4)