国家/地区 世界知识产权组织(11)
IPC部 C(8) H(7) B(5)
IPC大类 C01(7) H01(7) B82(4)
C23(2)
IPC小类 C01B(7) H01L(6) B82B(3)
C23C(2)
IPC C01B031/02(4) B82B003/00(3) C01B031/04(3)
H01L021/20(3) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2)
发明人 DAVIS M A(11)
公开年 2014(11)
申请年 2014(10) 
专利权人 DAVIS M A(11)