| 国家/地区 |
世界知识产权组织(11)
|
| IPC部 |
C(8)
H(7)
B(5)
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| IPC大类 |
C01(7)
H01(7)
B82(4)
C23(2) |
| IPC小类 |
C01B(7)
H01L(6)
B82B(3)
C23C(2) |
| IPC |
C01B031/02(4)
B82B003/00(3)
C01B031/04(3)
H01L021/20(3) C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2) |
| 发明人 | DAVIS M A(11) |
| 公开年 |
2014(11)
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| 申请年 | 2014(10) |
| 专利权人 |
DAVIS M A(11)
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