| 国家/地区 | 中国(11) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(5)
G(4)
H(3)
|
| IPC大类 |
G01(4)
C01(3)
H01(3)
|
| IPC小类 |
C01B(3)
G01N(3)
H01L(2)
|
| IPC |
C01B031/04(3)
H01L021/28(2)
H01L021/336(2)
H01L029/78(2) |
| 发明人 |
ZHANG H(5)
CHEN Z(4)
WANG B(4)
XIE X(4) YU G(4) ZHANG Y(4) DING G(3) DI Z(2) JIANG M(2) LI X(2) SUN J(2) WANG G(2) ZHANG M(2) |
| 公开年 |
2013(11)
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| 申请年 |
2013(11)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(11)
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JIN Q, ZHANG H, ZHAO J, JIN B, MAO H
WANG H, XIE X, TANG S, WU T, XIE H, LIU X, SONG Y, SUN Q
CHEN Z, WANG B, YU G, ZHANG H, ZHANG Y
CHEN Z, WANG B, YU G, ZHANG H, ZHANG Y
CHEN Z, WANG B, YU G, ZHANG H, ZHANG Y
CHEN Z, WANG B, YU G, ZHANG H, ZHANG Y
CHEN D, DI Z, DING G, LU Z, MA J, WANG G, XIE X, ZHANG M
DING G, JIANG M, LI X, SUN J, XIE X, XU X
