国家/地区 美国(18)
IPC部 C(18)
IPC大类 H01(18) C01(15) C23(12)
B01(6) B82(4) C30(4)
B32(2) C25(2)
IPC小类 H01L(18) C01B(15) C23C(12)
B01J(5) B82Y(4) C30B(4)
B32B(2) C25D(2)
IPC H01L021/02(18)
发明人 CHO S(2) CHO S M(2) PARK C(2)
PARK C H(2) SEO S(2) SEO S A(2)
SHIN S(2) SHIN S M(2)
公开年 2017(12) 2016(5)
申请年 2016(18)
专利权人 HANWHA TECHW.(2) SAMSUNG ELEC.(2)