国家/地区 美国(42) 韩国(32) 中国(15) 欧洲专利局(EPO)(9) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(41) C(14) G(7)
B(4)
IPC大类 H01(40) C23(9) H10(8)
C01(7) B23(2) C09(2)
G11(2) H04(2)
IPC小类 H01L(38) C23C(9) H10B(8)
C01B(7) C09K(2) G11C(2)
H01M(2) H01S(2)
IPC H01L021/02(14) H01L029/423(8) H01L029/16(7)
H01L029/66(7) H01L029/786(7) C23C016/26(6)
H01L021/768(6) H01L029/417(6) H01L029/78(6)
H01L021/285(5) H01L029/06(5) H01L029/40(5)
H01L029/45(5) H01L029/51(5) H10B012/00(5)
发明人 BYUN K(11) SHIN H(11) SHIN K(11)
BYUN K E(10) KIM S(10) LEE C(9)
LEE C S(9) SHIN K W(9) KIM C(7)
KIM H(7) LEE J(6) JIN C(5)
KIM K(5) LEE E(5) LI C(5)
公开年 2023(35) 2022(8)
申请年 2022(43)
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(43)