国家/地区 日本(17) 美国(2)
IPC部 H(14) C(9) B(5)
G(5)
IPC大类 H01(14) C01(9) G01(5)
B82(4) C07(4)
IPC小类 H01L(14) C01B(9) G01J(5)
B82Y(4) C07C(3)
IPC H01L051/05(7) H01L051/30(7) H01L021/336(6)
H01L029/786(6) H01L031/08(6) C01B032/182(5)
G01J001/02(5) B82Y040/00(4) C07C025/22(3)
H01L027/146(3) H01L031/10(3) B82Y020/00(2)
B82Y030/00(2) C01B032/186(2) H01L021/02(2)
发明人 HAYASHI K(5) KONDO O(4) YAMAGUCHI J(4)
HAYASHI H(3) YAMADA Y(3) OTOMO M(2)
SUDA S(2) YAMASHITA H(2)
公开年 2022(17)
申请年 2021(11)  2020(5) 
专利权人 FUJITSU LTD(17)