国家/地区 中国(15)
IPC部 G(8) H(6) B(3)
C(3)
IPC大类 G01(7) H01(6) B82(3)
C01(3)
IPC小类 G01N(7) B82Y(3) C01B(3)
H01L(3)
IPC B82Y040/00(3) G01N021/35(3) H01L031/18(3)
C01B031/02(2) G01N021/3577(2) H01L031/0236(2)
H01L031/101(2)
发明人 YANG X(15)
公开年 2018(6) 2016(3) 2014(2)
申请年 2018(5)  2015(3)  2014(2)  2019(2) 
专利权人 NAT CENT NANOSCIENCE TECHNOLOGY CHINA(15)