国家/地区 中国(41) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(38) H(13) B(7)
IPC大类 C01(27) H01(13) C30(10)
B82(6) C23(6) C04(5)
IPC小类 C01B(27) H01L(12) C30B(10)
B82Y(6) C23C(6) C04B(5)
IPC C01B031/04(24) C30B029/02(7) H01L021/02(7)
C04B041/50(5) C23C016/26(5) B82Y040/00(4)
C04B041/85(4) C30B025/02(4) C30B025/18(4)
C01B031/02(3) H01L021/04(3) B82Y030/00(2)
C23C016/02(2) C23C016/56(2) C30B033/02(2)
发明人 GUO H(41)
公开年 2012(31) 2013(10)
申请年 2012(41)
专利权人 UNIV XIDIAN(36) DENG P(2) GUO H(2) LEI T(2)
UNIV ZHEJIAN.(2) ZHANG K(2) ZHANG Y(2)