国家/地区 韩国(8) 美国(8) 欧洲专利局(EPO)(5) 中国(4) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(8) C(6) G(5)
IPC大类 H01(8) C01(5) C23(4)
G01(4) G02(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(5) C23C(4)
G01N(3) G01B(2) G02F(2)
H01M(2)
IPC C01B032/182(3) C23C016/26(3) C01B032/186(2)
C23C016/02(2) G01B015/02(2) G01N023/2273(2)
H01L021/285(2) H01M004/36(2) H01M004/38(2)
H01M004/48(2) H01M004/58(2) H01M004/587(2)
H01M004/62(2) H01M010/052(2)
发明人 LEE E(11)
公开年 2021(11)
申请年 2021(6)  2020(4) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(9) UNIV SUNGKYU.(3)