国家/地区 中国(33) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(32) H(12) B(5)
IPC大类 C01(23) H01(12) C30(7)
C23(6) B82(5) C04(5)
IPC小类 C01B(23) H01L(12) C30B(7)
C23C(6) B82Y(5) C04B(5)
IPC C01B031/04(23) H01L021/02(7) C04B041/50(5)
C23C016/26(5) B82Y040/00(4) C04B041/85(4)
C30B025/02(4) C30B025/18(4) C30B029/02(4)
H01L021/04(3) C23C016/02(2) C23C016/56(2)
C30B033/02(2) H01L021/205(2) H01L021/324(2)
发明人 LEI T(33)
公开年 2012(25) 2013(8)
申请年 2012(33)
专利权人 UNIV XIDIAN(33) DENG P(2) GUO H(2) LEI T(2)
ZHANG K(2) ZHANG Y(2)