国家/地区 中国(10) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(8) G(4)
IPC大类 H01(8) G06(2)
IPC小类 H01L(8)
IPC H01L045/00(4) H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 LIU M(10)
公开年 2012(3) 2016(3) 2018(2)
申请年 2015(3)  2010(2)  2018(2) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(10)